硅基光伏电池片制程

从硅片到电池片：

以目前主流的单晶硅PERC电池制作流程为例，从硅片到电池片大概要经历：

→清洗制绒

→扩散制结

→刻蚀&去磷硅玻璃

→PECVD

→印刷电极&烧结

→分选测试/检验入库

而在清洗、制绒、刻蚀、PECVD等环节，均可使用等离子清洗机，下面我们来看具体的应用。

等离子在电池片工艺中的应用

01 清洗与制绒

在清洗与制绒工艺环节，一般是用碱性或酸性腐蚀液进行湿式化学清洗，制绒效果不仅受多因素影响，且多孔硅结构松散不稳定，具有较高表面复合率。

等离子清洗机处理方案：

使用离子体的高速粒子轰击电池片表面，可将绒面处理的更加细致有序，表面结构也更加稳定，减少复合中心的产生；还可同时清除材料表面的指纹油污，减少湿式处理的烘干环节。

02 刻蚀&去磷硅玻璃

在上道扩散工艺中，PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，从而造成短路。因此，必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以去除电池边缘的PN结。

通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。等离子体可以通过粒子吹扫将多余扩散的磷分解，从而达到去除PSG的目的。

03 PECVD

为了减少表面反射,提高电池的转换效率,需要沉积一层氮化硅减反射膜。

工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜，PECVD即等离子增强型化学气相沉积，它是利用低温等离子体作能量源，产品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使产品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体SiH4和NH3，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在产品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜。

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01 大气等离子清洗机

适用于光伏玻璃、电池片、背板、框架等部件的清洗活化，可搭配直喷或旋转枪头，可定制大气等离子流水线设备。

02 宽幅等离子清洗机

适用于光伏玻璃、电池片、背板等部件的清洗活化，可客制化宽幅线性等离子流水线设备。

03 真空等离子清洗机

适用于面积较大、形状复杂的材料清洗，可搭配多路工艺气体，可客制真空等离子流水线设备。